近日，央视财经《对话》节目聚焦中国半导体设备产业突围之路，“中国刻蚀机之父”尹志尧与中芯国际创始人张汝京同台讲述国产设备从无到有的攻坚历程。张汝京透露，中芯国际已经累计向中微半导体采购至少800台刻蚀机。
60岁放弃美国百万年薪毅然回国的尹志尧，曾在泛林、应用材料等国际半导体设备巨头深耕20余年，手握数百项核心专利。2004年创立中微时，他要求所有员工不带任何海外文件，用空白电脑从零起步。
历经22年深耕，中微公司市值已突破2714亿元，其刻蚀设备覆盖从65nm成熟制程到3nm先进制程的全节点，更成功打入台积电5nm、3nm供应链，彻底打破了海外三巨头对刻蚀机市场的长期垄断。
中微能在国际巨头的夹缝中撕开缺口，核心在于坚持原始创新。尹志尧透露，公司首创的甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，推出三年后便被泛林、应用材料、东京电子全部效仿，如今全球100%的CCP刻蚀机均采用这一技术。
而中微原创的双台机设计，可同时完成两片硅片的刻蚀作业，能节省30%以上的材料成本，且性能优于国际同类产品，售价更低。
中微的首个量产客户正是中芯国际。张汝京坦言：“试新的设备一定会有风险，但是我们试的时候不会贸然试很多，就是小批量的，先试5片、25片，再就是50片、100片，而且时间蛮长的，双方都要负责。
比如我们用中微的设备，设备给我们的时候，我们并没有付钱，这是中微投资者的，但是后面测试时，芯片就是我们自己负责，时间成本是我们负责，大家配合很好以后成功了，这个投资绝对划得来。
如果没有人使用国货，怎么会进步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改，也不要觉得我一试不好，不用了。”
2023年12月，中微进军此前17种工艺设备全依赖进口的大平板设备领域，仅用18个月就完成设备研发并通过客户生产线核准，远超行业3-7年的常规研发周期。
尹志尧强调，中微始终拒绝单纯的技术复制，真正的自主创新才是中国半导体设备产业的立身之本。
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